Risultati superiori da prodotti sostenibili
La mordenzatura è il processo di rimozione del materiale dalla parte superiore di un wafer di silicio per creare il disegno trasferito al wafer mediante fotolitografia.
I fluidi speciali Opteon™ a base di idrofluoroolefine (HFO) sono preziosi durante questa fase di produzione di semiconduttori sia come tensioattivi (che migliorano le prestazioni dei liquidi mordenzanti gli acidi) sia come agenti per rimuovere la riserva fotosensibile e i residui polimerici dai wafer.
Le caratteristiche giuste delle prestazioni in un fluido con GWP basso
La viscosità bassa, la tensione superficiale ridotta e la solvibilità elevata dei fluidi speciali Opteon™ li rendono idonei per una varietà di applicazioni di mordenzatura di precisione. I prodotti Opteon™ presentano un potenziale di riscaldamento (GWP) globale basso e un potenziale di riduzione dell’ozono pari a zero, il che li rende una scelta sostenibile rispetto ai fluidi tradizionali. Inoltre i fluidi Opteon™ non sono infiammabili e sono più sicuri da usare rispetto a molti fluidi a solvibilità molto forte.
